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碳化硅生产过程的关键步骤是什么?

碳化硅(SIC)由于其极高的硬度,热稳定性和耐化学性而在从航空航天到半导体的行业中变得必不可少。本文探讨了工业生产方法,重点介绍了acheson过程,同时还涵盖了物理蒸气运输(PVT)和化学蒸气沉积(CVD)等先进技术。

2025-03-17
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